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靶材純度如下所示：

鈦≧99. 5%

鐿≧99. 5%

铒≧99. 5%

釔≧99. 5%

鍺≧99. 999%
鉻≧99.9%               

鉬≧99.95%

鎢≧99.95%
鉭≧99.95%
鈮≧99.95%